ऊष्मा को नियंत्रित करना: ओज़ोन-रहित इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग क्यों आवश्यक है?
सेमीकंडक्टर निर्माण में आवश्यक तापमान प्राप्त करना बहुत ही कठिन कार्य है। आमतौर पर, व्यक्ति को या तो वांछित तापमान प्राप्त करना ही पड़ता है, या फिर पर्यावरण संबंधी समस्याओं से जूझना ही पड़ता है। हमने इस समस्या को हल करने हेतु ओज़ोन-रहित इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग करने का निर्णय लिया। यह वांछित ऊष्मा प्राप्त करने का एक आसान तरीका है।
“सामान्य” प्रकाश की समस्या
दरअसल, अधिकांश शॉर्टवेव इन्फ्रारेड लैंप 185नैनोमीटर से 254नैनोमीटर की आवृत्ति में विकिरण उत्पन्न करते हैं। यह तो एक तकनीकी विवरण लग सकता है, लेकिन यह वास्तव में एक समस्या है। ऐसा प्रकाश हवा में मौजूद ऑक्सीजन को ओज़ोन में बदल देता है।
ओज़ोन बहुत ही हानिकारक है। यह ग्रीनहाउस गैस है, एवं यह स्वच्छ कमरों के उपकरणों को नष्ट कर देता है। यह बिल्कुल भी अच्छा नहीं है।
इस समस्या को दूर करने हेतु, हम विशेष क्वार्ट्ज कवरों एवं आंतरिक कोटिंगों का उपयोग करते हैं। ये कवर/कोटिंगें ऐसी ही हैं जो उन हानिकारक तरंगदैर्घ्यों को रोक देती हैं। इस तरह, आपको वेफरों को गर्म करने हेतु आवश्यक ऊष्मा तो मिलती ही है, लेकिन ओज़ोन का निर्माण रुक जाता है।
ऊर्जा, गति, एवं “ऊष्मा संबंधी समस्याएँ”
हम शॉर्ट ट्यूबों में अधिक ऊर्जा डालना पसंद करते हैं… क्यों? क्योंकि उच्च-घनत्व वाले इन्फ्रारेड लैंप बहुत तेजी से गर्म हो जाते हैं। इससे प्रति वेफर कम किलोवाट-घंटे ऊर्जा खर्च होती है… जो सभी के लिए फायदेमंद है। हम इन सिस्टमों को ऐसे ही डिज़ाइन करते हैं कि वे त्वरित रूप से प्रतिक्रिया दें… ताकि तापमान नियंत्रण में कोई समस्या न हो।
लेकिन इसमें एक समस्या है… जब इतनी अधिक ऊर्जा एक छोटे स्थान में डाली जाती है, तो उपकरणों पर बहुत दबाव पड़ता है। यदि कूलिंग फैन या हीट सिंक पर्याप्त न हों, तो समस्याएँ हो जाती हैं। मैंने ऐसा कई बार देखा है… यदि वायु प्रवाह कम हो, तो लैंप का जीवनकाल कम हो जाता है। इसलिए, कूलिंग सिस्टम को ठीक रखना आवश्यक है… वरना पैसे बर्बाद हो जाएंगे।
यह आपकी फैक्ट्री के लिए क्या लाभदायक है?
सबसे अच्छी बात यह है कि ओज़ोन-रहित लैंपों के उपयोग से आप उन भारी एवं जटिल एग्जॉस्ट शुद्धिकरण प्रणालियों को हटा सकते हैं। इससे HVAC प्रणाली पर बोझ कम हो जाता है, एवं पूरी इमारत में ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है।
यह तो एक बहुत ही सरल विकल्प है… आप पुराने, प्रदूषणकारी उपकरणों को हटाकर इन लैंपों का उपयोग कर सकते हैं… और अपनी उत्पादन क्षमता को वैसे ही बनाए रख सकते हैं… लेकिन कार्बन उत्सर्जन कम हो जाएगा।