फैब्रिकेशन लाइन पर, “ग्लू क्यूर” कोई साधारण प्रक्रिया नहीं है; यह तो एक ऐसी थर्मल प्रक्रिया है जो उत्पादन की गुणवत्ता पर सीधा प्रभाव डालती है। फोटोरेजिस्ट को नरम/कठोर अवस्था में लाने हेतु भी ऐसी ही व्यवस्था आवश्यक है – तापमान को हमेशा स्थिर रखना आवश्यक है। डाइ-अटैच एडहेसिव्स के लिए भी ऐसी ही स्थिरता आवश्यक है। यदि तापमान में थोड़ी भी व्यत्यय हो जाए, तो पैकेजिंग में समस्याएँ आ सकती हैं।
हमने सिस्टम में क्या शामिल किया?
हमने इंफ्रारेड क्यूरिंग प्रक्रिया को नियर-इंफ्रारेड स्रोतों के साथ जोड़ा, ताकि ऊर्जा सीधे एडहेसिव की आवश्यकताओं के अनुसार ही वहाँ पहुँच सके। हॉट जोन में तापमान ±0.1°C तक ही रहता है, और चेम्बर को क्लास 1–100 क्लीनरूम मानकों के अनुसार ही डिज़ाइन किया गया है, ताकि कणों का उत्पादन न्यूनतम रहे। ऐसे में लिथोग्राफी प्रक्रियाओं एवं ग्लू क्यूरिंग प्रक्रियाओं में नियमितता बनी रहती है।
यह उत्पादन में क्यों कारगर है?
वास्तविक उत्पादन में, इसका परिणाम स्थिर आकार-माप एवं कम रीवर्क है। नियर-इंफ्रारेड किरणें एडहेसिव पर्तों को अधिक समान रूप से सुखाती हैं; इससे थर्मल तनाव कम हो जाता है, एवं विभिन्न जगहों पर अपर्याप्त क्यूरिंग की समस्याएँ भी नहीं होतीं। ऐसे में थर्मल चक्र छोटे हो जाते हैं, गैस की खपत कम हो जाती है, एवं बॉन्ड लाइनों की मजबूती भी स्थिर रहती है। इसका परिणाम कम अपशिष्ट वेफर, अधिक उत्पादन दक्षता, एवं प्रति वेफर कम ऊर्जा खपत है।
क्या ध्यान में रखना आवश्यक है?
नियर-इंफ्रारेड क्यूरिंग प्रक्रिया में, भागों की ज्यामिति एवं छायाएँ महत्वपूर्ण हैं। ऊँची संरचनाओं वाले पैकेजों के लिए थोड़ा अधिक समय आवश्यक होता है… या फिर दूसरी बार क्यूरिंग की आवश्यकता होती है। हमने लैंपों एवं ऑप्टिक्स को ऐसे ही डिज़ाइन किया है कि किनारों पर कोई समस्या न हो… लेकिन प्रक्रिया विकास के दौरान आपको अपने वास्तविक सब्सट्रेट स्टैक पर ही प्रोफ़ाइल की जाँच करनी होगी।