हवा को गर्म करना बंद करें: क्लीनरूम को संचालित करने का एक बेहतर तरीका
यदि हम वाकई में सेमीकंडक्टर फैक्ट्रियों में कार्बन-तटस्थता के लक्ष्यों को हासिल करना चाहते हैं, तो हमें पुरानी तकनीकों पर निर्भर रहना बंद करना होगा। सोचिए… ऐसी तकनीकों में पूरे कमरे को – हवा, दीवारें, सब कुछ – गर्म किया जाता है, ताकि वेफर का तापमान सही रहे। यह ऊर्जा का बहुत बड़ा अपव्यय है।
यहीं पर आईआर हीटिंग की भूमिका आती है। पूरे कमरे को गर्म करने के बजाय, हम आईआर तकनीक का उपयोग करके ऊर्जा को सीधे वेफर पर ही भेजते हैं। यह तरीका अधिक कुशल है, एवं ऊर्जा का अपव्यय भी कम होता है।
यह कैसे काम करता है?
आईआर लैंप, ऊर्जा को सीधे वेफर पर ही भेजते हैं। इस तरह, बड़े एयर-सर्कुलेशन फैन एवं ऊर्जा खपत करने वाले उपकरणों की आवश्यकता ही नहीं रह जाती।
और यह भी अच्छी बात है कि हम तरंगदैर्घ्य को नियंत्रित करके यह तय कर सकते हैं कि ऊर्जा कितनी गहराई तक पहुँचे। इस तरह, मशीन के चेसिस को गर्म करने में ऊर्जा का अपव्यय नहीं होता। इसके अलावा, यह तकनीक बहुत तेज़ी से काम करती है… इससे उत्पादन में लगने वाला समय कम हो जाता है।
कुछ चुनौतियाँ…
लेकिन ऐसा नहीं है कि हम बस कुछ हीट लैंप लगाकर काम पूरा कर सकते हैं। कणों का प्रदूषण एक बड़ी समस्या है… इसलिए हम क्वार्ट्ज आवरण एवं विशेष कोटिंगों का उपयोग करते हैं, ताकि गर्मी होने पर कोई गैस बाहर न निकले।
इसके अलावा, ठंडक प्रणाली पर भी ध्यान देना आवश्यक है… उच्च-वाटेज वाले आईआर लैंपों से बहुत अधिक ऊर्जा उत्पन्न होती है… यदि ठंडक प्रणाली पर्याप्त न हो, तो मशीन का तापमान बढ़ जाएगा… इससे उत्पादन प्रक्रिया प्रभावित हो जाएगी।
इसका अर्थ क्या है?
अंत में, प्रति वेफर ऊर्जा की खपत कम हो जाती है। आपके उपकरणों को भी कम जगह की आवश्यकता होती है… क्योंकि अब बड़े, इन्सुलेटेड ओवनों की आवश्यकता ही नहीं रह जाती। इंजीनियरों के लिए यह बहुत ही अच्छा है… ऐसे में उत्पादन में कोई देरी नहीं होती… उत्पादन दर बढ़ जाती है… प्रति इकाई ऊर्जा की खपत कम हो जाती है… एवं बिजली नेटवर्क पर भी कम दबाव पड़ता है।