फैब्रिकेशन प्रक्रिया में कार्बन उत्सर्जन को कम करना: आईआर हीटिंग क्यों कारगर है?
ईमानदारी से कहें तो, सेमीकंडक्टर फैक्ट्रियाँ ऊर्जा की भारी मात्रा का उपयोग करती हैं। पुराने तरह के क्लीन रूमों में उपयोग होने वाले उपकरण, वास्तव में ऊर्जा को हवा में ही बर्बाद कर देते हैं। यह बेकार है। इसीलिए अब लोग शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड (SWIR) लैंप सिस्टमों का उपयोग कर रहे हैं।
भौतिकी के नियमों के अनुसार, सामान्य तरीकों से हवा को गर्म करने में बहुत समय लगता है। लेकिन आईआर सिस्टम में ऐसा नहीं होता; ये सीधे ही ऊर्जा को सब्सट्रेट तक पहुँचाते हैं। चूँकि ऊर्जा सीधे ही वेफर तक पहुँचती है, इसलिए HVAC सिस्टम को वातावरणीय गर्मी से निपटने हेतु ज्यादा मेहनत नहीं करनी पड़ती। इससे प्रति वेफर पर खर्च होने वाली ऊर्जा कम हो जाती है।
लेकिन ऐसे उपकरणों का उपयोग करने हेतु कुछ बातों का ध्यान रखना आवश्यक है। उच्च वाटेज वाले क्वार्ट्ज लैंपों से तापमान कुछ ही सेकंड में पहुँच जाता है। ऐसे में ऊर्जा की बर्बादी नहीं होती। लेकिन इसके लिए आपको अपने कूलिंग सिस्टम को भी उचित रूप से व्यवस्थित करना होगा। अगर आपके फैन या कूलिंग सिस्टम पर्याप्त न हों, तो सिस्टम ओवरहीट हो जाएगा।
अगर आपने कभी किसी फैक्ट्री में काम किया है, तो आपको पता होगा कि “ड्रॉप-इन रिप्लेसमेंट” वास्तव में एक मिथक है। आपको अपने कंट्रोल पैनलों को फिर से व्यवस्थित करना होगा, ताकि वे लैंपों के वोल्टेज को संभाल सकें। मैं हमेशा तेज़ प्रतिक्रिया वाले थर्मोकपलों का उपयोग करने की सलाह देता हूँ। अगर आपका फीडबैक लूप धीमा हो, तो आईआर ऊर्जा आपके लक्ष्य से अधिक हो जाएगी, जिससे वेफर नष्ट हो जाएंगे। यह अच्छा नहीं होगा।
अंत में, आईआर सिस्टम का उपयोग करना, कार्बन उत्सर्जन को कम करने का सबसे आसान तरीका है। इससे ऊर्जा की बर्बादी रुक जाती है, और आपकी फैक्ट्री भी अधिक पर्यावरण-अनुकूल बन जाती है।