
Mantenere una sala pulita di classe 100 davvero pulita
Quando si riscaldano i wafer in un ambiente di classe 100, non c’è spazio per errori. Anche solo un piccolissimo frammento di polvere o una piccola quantità di gas può rovinare l’intera produzione. La maggior parte degli elementi riscaldanti standard non è adatta a queste condizioni: tendono infatti a liberare particelle microscopiche proprio nel momento in cui è necessario che rimangano stabili.
Ecco perché utilizziamo quarzo sintetico ad alta purezza per le nostre lampade a infrarossi. Questo materiale elimina completamente il rischio di problemi legati alla qualità dell’aria.
Perché il quarzo è importante
Utilizziamo silice fusa senza quasi alcuna impurità. Perché? Perché ad alte temperature i materiali economici iniziano a reagire con l’aria. Questi involucri di quarzo fungono da barriera efficace, mantenendo l’energia all’interno della lampada. In questo modo si ottiene una fonte di luce costante, che non influisce negativamente sulla qualità dell’aria. Semplice, no?
Raggiungere la temperatura desiderata
Queste lampade utilizzano radiazioni a breve lunghezza d’onda. Invece di sprecare tempo per riscaldare tutto l’aria intorno al wafer, l’energia colpisce direttamente la superficie del wafer stesso. È veloce… davvero veloce. È possibile raggiungere la temperatura desiderata quasi immediatamente. Attenzione però: la densità energetica è molto elevata. Assicuratevi che i sistemi di raffreddamento siano in grado di gestire questa situazione, altrimenti potreste rischiare di surriscaldare i componenti della lampada durante lunghi periodi di funzionamento.
Configurazione della lampada
Abbiamo mantenuto i connettori standard, quindi queste lampade si integrano facilmente nel vostro sistema esistente. Inoltre, il quarzo viene lucidato fino a ottenere una superficie liscia come uno specchio. Questo non serve soltanto per motivi estetici: previene anche l’accumulo di particelle sulla superficie della lampada. Abbinando queste lampade a un controller PID adeguato, si ottiene un riscaldamento uniforme su tutta la superficie del wafer.
Un avvertimento
Il quarzo ad alta purezza è fragile. Riesce a sopportare meglio gli shock termici rispetto al vetro normale, ma non può assolutamente subire danni. Un errore durante l’installazione può causare la rottura dell’involucro della lampada. Inoltre, indossate sempre i guanti: gli oli presenti sulla pelle creano punti di calore sul vetro, il che può causare il surriscaldamento prematuro della lampada.