Come sfruttare al meglio le lampade per la cottura dei wafer
Se siamo onesti, lo spreco di energia in una fabbrica intelligente equivale semplicemente a buttare via i soldi. Quando si procede alla cottura dei wafer, non si vuole che il chassis della macchina funzioni come un enorme riscaldatore. Si desidera invece che l’energia termica venga trasmessa direttamente sul substrato.
Ecco perché il riflettore è in realtà la parte più importante dell’intera struttura della lampada.
Smettete di sprecare metà dell’energia prodotta
Se si utilizza una lampada per la cottura senza un riflettore preciso, più del 50% dell’energia prodotta viene sprecata. È davvero uno spreco.
Noi progettiamo questi riflettori per far sì che le radiazioni infrarosse vengano dirette esattamente sulla superficie del wafer. In questo modo, il calore si distribuisce uniformemente su tutta la superficie del wafer. Non ci sono zone calde anomale, né problemi legati all’usura del silicio. Funziona semplicemente perfettamente.
Grazie alla tecnologia avanzata
A seconda della lunghezza d’onda da utilizzare, possiamo scegliere tra substrati in alluminio ad alta purezza o substrati rivestiti d’oro. L’oro è il materiale ideale per le lunghezze d’onda infrarosse lunghe, mentre l’alluminio lucidato è solitamente il migliore per le lunghezze d’onda corte.
Inoltre, se si utilizza una soluzione tipica dell’Industry 4.0, questi riflettori possono essere integrati in housing modulari. Questo rende possibile un sostituzione semplice quando è necessario ampliare la linea di produzione.
Inoltre, è possibile collegare questi sistemi direttamente al PLC. In questo modo, invece di basarsi solo sui dati relativi alla potenza assorbita, si può utilizzare dei sensori digitali per conoscere esattamente quanta energia viene effettivamente trasmessa al wafer in tempo reale.
I limiti e come affrontarli
Il problema è che le superfici ad alta riflettività sono molto sensibili. Anche una piccola quantità di polvere o di vapori chimici può ridurre notevolmente l’efficienza della lampada. Bisogna quindi prestare molta attenzione alla pulizia delle superfici, oppure utilizzare degli incapsulamenti per mantenere le superfici pulite. Se le superfici diventano sporche, i tempi di cottura aumenteranno. Perché? Perché la lampada deve funzionare a temperature più alte per compensare l’energia persa. Questo rappresenta uno stress eccessivo per le fonti di alimentazione e accelera l’usura delle lampade. Mantenendole pulite, le lampade continueranno a funzionare correttamente.