化学薬品が爆発しそうになったときに、どうやって安全を保つか 正直言って、半導体の湿式洗浄というのは非常に危険な作業です。可燃性の蒸気や爆発性の化学物質を扱うわけですから、そのような環境では、通常の赤外線ランプは単なる道具ではなく、むしろ危険因子となります。ちょっとしたスパークや絶縁体の劣化だけで、大惨事につながります。 そんな心配をなくす方法を私たちは見つけました。専用のテフロン（PTFE）製ワイヤーや強化されたコーティングを使って赤外線ヒーターを製造しているのです。
なぜテフロンが重要なのか
もし、化学処理区域でPVCやシリコン製のワイヤーを使用したことがあれば、それらが耐久性がないことを知っているはずです。溶剤によって簡単に破壊されてしまいます。 私たちは、テフロンを使用することで、その問題を解決しました。テフロンは化学物質の影響を受けず、高温になっても強度を保ちます。しかし、ワイヤーだけでなく、接続部分もしっかりと密封しています。 なぜでしょうか？腐食性の蒸気がランプの端子に入り込むのを防ぐためです。もし蒸気が入り込んでしまうと、ヒーターが壊れたり短絡したりします。密封することで、有害な物質を遮断し、機器が正常に動き続けるのです。
トレードオフ（正直なところ）
このコーティングによって、熱と蒸気の間に物理的な壁ができます。これにより、「アークオーバー」という現象を防げます。その結果、洗浄タンクが爆弾になることなく、安定した加熱が可能になります。 ただし、この保護層のおかげで、熱の伝達が少し悪くなります。コーティングが断熱材として機能するため、単純な石英ランプほど速く目標温度に到達しないことがあります。そのため、少し高いワット数が必要になります。これは、より安心できるためのわずかな犠牲です。
研究室での利用法
私たちは、これらをそのまま代替品として使用できるように設計しました。化学処理室がどれほど狭いかを考慮し、サイズを小さくしています。 また、テフロンでコーティングされた配線は本当に役立ちます。汚染された地域を通しても、絶縁体が割れたり溶けたりする心配がありません。 溶けたワイヤーを交換する時間が減るので、実際に作業を進める時間が増えます。これにより、作業がスムーズに進みます。