化学薬品が爆発しそうになったときに、どうやって安全を保つか 正直言って、半導体の湿式洗浄というのは非常に危険な作業です。可燃性の蒸気や爆発性の化学物質を扱うわけですから、そのような環境では、通常の赤外線ランプは単なる道具ではなく、むしろ危険因子となります。ちょっとしたスパークや絶縁体の劣化だけで、...

半成晶工程における炭素排出の削減：なぜ真空赤外線が有効なのか 正直に言えば、従来の抵抗加熱式の炉はエネルギーを大量に消費します。ウェーハを適切な温度にするために、チャンバ全体、つまり壁までも加熱する必要があります。これは、コーヒーを温めるために家全体を暖めるようなものです。これは無駄なことであり...

暖めるのに時間を無駄にするのはやめましょう：なぜバイオセンサー製造においてIRランプが優れているのか もし、製造ラインで作業したことがあるなら、部品が加熱されるのを待つという苦労を知っているはずです。長い間、私たちは熱風循環方式に頼ってきました。しかし正直なところ、それは非常に遅く、非効率的です。...

無鉛半導体のための適切な赤外線硬化処理の方法 世界的なクリーンルーム基準を満たすためには、赤外線による硬化処理が最適な手段です。これはクリーンであり、無鉛であり、環境にも優しい方法です。 対流式オーブンを例に考えてみましょう。部品を加熱するために、部屋中の空気を温める必要があります。これは無駄なエ...

なぜバイオセンサー製造において、オーブンの代わりに赤外線ランプを使うのか？ バイオセンサーを製造する際、熱による硬化処理や基板を完全に乾燥させることに多くの時間を費やします。長年にわたり、一般的には通常のオーブンが使用されてきました。しかし問題点は、小さな素材を温めるために大きな空間全体を加熱する...

半導体製造用のトロリーヒーターが火災の原因にならないようにするために もし、化学洗浄用のクリーンルーム用トロリーを使用しているのであれば、その危険性はご存知でしょう。可燃性の溶剤や爆発性の蒸気が存在する環境です。これは非常に危険な状況です。少しでも火花が発生すれば、大きな問題につながります。 だか...

赤外線半導体加熱における適切な温度制御の実現 もし、半導体製造プロセスの環境負荷を削減したいのであれば、古くから使われてきた抵抗式のオーブンに頼るのはやめなければなりません。そうしたオーブンはエネルギーを多く消費します。代わりに赤外線ヒーターを使えば、部屋全体を温めるのではなく、ウェーハ自体を直接...

なぜ半導体の乾燥に赤外線硬化法が使われるようになったのか 正直に言えば、昔ながらの対流式オーブンはもはや時代遅れに思えます。新しいゼロ排出規制や無鉛材料の使用が求められる中、業界は変化しています。私たち多くの人々が赤外線硬化法を採用しているのには、それなりの理由があります。部品を乾燥させるために部...

キャビネットの内壁を加熱しないようにしましょう ほとんどの加熱要素は、エネルギーをあらゆる方向に放出します。半導体製造装置では、これは問題です。大量の電力が無駄になり、装置の内壁が巨大な放熱体として機能してしまいます。 内壁が過度に熱くなると、トラブルが起こります。敏感な電子部品が破壊されたり、最...

なぜ化学洗浄用のIRランプに金メッキを施すのか？ 半導体製造工場で作業する際、しばしば高温に弱い溶剤を扱うことになります。ちょっとした火花や熱点があれば、深刻な燃焼事故につながりかねません。 そのため、私たちは普通のランプを使うのではありません。金メッキされたIRランプを使用するのです。これにより...

ファブの現場では、「接着剤の硬化処理」というのは、単なる加熱処理とは異なります。これは温度管理が非常に重要なプロセスであり、歩留まりにも大きな影響を与えます。フォトレジストのソフトベイクやハードベイクにおいても同様で、温度は必ず一定でなければなりません。また、チップを基板に固定するための接着剤につ...