半導体製造用のトロリーヒーターが火災の原因にならないようにするために もし、化学洗浄用のクリーンルーム用トロリーを使用しているのであれば、その危険性はご存知でしょう。可燃性の溶剤や爆発性の蒸気が存在する環境です。これは非常に危険な状況です。少しでも火花が発生すれば、大きな問題につながります。 だか...

赤外線半導体加熱における適切な温度制御の実現 もし、半導体製造プロセスの環境負荷を削減したいのであれば、古くから使われてきた抵抗式のオーブンに頼るのはやめなければなりません。そうしたオーブンはエネルギーを多く消費します。代わりに赤外線ヒーターを使えば、部屋全体を温めるのではなく、ウェーハ自体を直接...

なぜ半導体の乾燥に赤外線硬化法が使われるようになったのか 正直に言えば、昔ながらの対流式オーブンはもはや時代遅れに思えます。新しいゼロ排出規制や無鉛材料の使用が求められる中、業界は変化しています。私たち多くの人々が赤外線硬化法を採用しているのには、それなりの理由があります。部品を乾燥させるために部...

キャビネットの内壁を加熱しないようにしましょう ほとんどの加熱要素は、エネルギーをあらゆる方向に放出します。半導体製造装置では、これは問題です。大量の電力が無駄になり、装置の内壁が巨大な放熱体として機能してしまいます。 内壁が過度に熱くなると、トラブルが起こります。敏感な電子部品が破壊されたり、最...

なぜ化学洗浄用のIRランプに金メッキを施すのか？ 半導体製造工場で作業する際、しばしば高温に弱い溶剤を扱うことになります。ちょっとした火花や熱点があれば、深刻な燃焼事故につながりかねません。 そのため、私たちは普通のランプを使うのではありません。金メッキされたIRランプを使用するのです。これにより...

ファブの現場では、「接着剤の硬化処理」というのは、単なる加熱処理とは異なります。これは温度管理が非常に重要なプロセスであり、歩留まりにも大きな影響を与えます。フォトレジストのソフトベイクやハードベイクにおいても同様で、温度は必ず一定でなければなりません。また、チップを基板に固定するための接着剤につ...