清掃用化学薬品が揮発性を持つ場合の安全対策 正直に言うと、化学清掃エリアで赤外線ヒーターを使うのは、まるで火遊びのようなものです。周囲には可燃性の蒸気が漂っており、腐食性のある物質も存在します。もし通常のランプを使ったら、機器がすぐに破壊されてしまうでしょう。 だからこそ、私たちは二重管構造で、金...

製造現場において、フォトレジストのベイク処理は単なるウォームアップではありません。それは工程上の重要なステップです。 ソフトベイクやハードベイクの温度を1℃でも変えると、CDのずれやサイドウォール角度の変化、欠陥密度の増加が起こります。オーブン内の石英ヒーターチューブは、再現性の高い加熱を実現しな...