ステンレス鋼ヒーター筐体製造

ファブフロアにおいて、フォトレジストのベークは任意ではなく、厳格な制約条件である。ソフトベークまたはハードベークの温度が2℃ずれるだけで、クリティカルディメンション制御が乱れ、歩留まりに悪影響を及ぼす。ヒーター筐体は、粒子リスクを増やすことなく、熱慣性を引きずることもなく、現場での熱制御意図を実際...