太陽電池ウェーハ乾燥ランプ

ウェーハが乾燥ステーションから出てくる様子を見てみましょう。もし乾燥ランプの性能が低下していると、水分が残ったままになり、その結果フォトレジストが剥がれ始めます。そうなると、バッチごとの歩留まりが悪化します。私たちが設計した太陽電池用ウェーハ乾燥ランプは、このような問題を防ぐために作られています。...