ウェーハ加熱時の安全距離

適切な距離の設定：赤外線ウェーハ加熱 半導体製造においては、正確な温度管理を実現するために短波長の赤外線ランプが使用されます。これは、エネルギーを無駄に消費する対流式オーブンよりもずっと優れています。しかし、より環境に優しい工場を実現し、二酸化炭素排出量を削減したい場合は、ランプとウェーハの間の「...