フォトレジストのソフトベイク温度 IR

リソグラフィーの工程において、フォトレジストのソフトベイク時に生じる0.5度程度のずれは、些細な問題ではありません。それは線幅の変動や溶剤の残留、歩留まりの低下として現れ、どんな監査でもその原因を特定することはできません。私たちは、このような不確実性を排除するために、IRソフトベイクモジュールを開...