ウェーハ用高精度IRセンサー

無駄なエネルギーの消費をやめよう：なぜ金コーティングされた反射板が優れているのか シリコンウェーハを加熱する際には、1ワットというエネルギーも無駄にしてはいけません。しかし問題は、一般的なIRランプではエネルギーがあちこちに散らばってしまうことです。その結果、基板に届くエネルギーよりも、むしろ装置...