真空赤外線加熱システムによる半導体の炭素排出量削減
半成晶工程における炭素排出の削減:なぜ真空赤外線が有効なのか 正直に言えば、従来の抵抗加熱式の炉はエネルギーを大量に消費します。ウェーハを適切な温度にするために、チャンバ全体、つまり壁までも加熱する必要があります。これは、コーヒーを温めるために家全体を暖めるようなものです。これは無駄なことであり...
IR加熱システムによるバイオセンサー製造における炭素フットプリントの削減
なぜバイオセンサー製造において、オーブンの代わりに赤外線ランプを使うのか? バイオセンサーを製造する際、熱による硬化処理や基板を完全に乾燥させることに多くの時間を費やします。長年にわたり、一般的には通常のオーブンが使用されてきました。しかし問題点は、小さな素材を温めるために大きな空間全体を加熱する...