TEL 東京エレクトロン ヒーターランプ

リソグラフィーの工程において、フォトレジストを加熱する際に0.5℃の温度変動があれば、重要な寸法が規格から外れてしまい、大量のウェハが廃棄されてしまいます。TEL社のヒーターランプは、温度というのは単なる画面上の数値ではなく、パターン形成に不可欠な要素であるという事実に基づいて設計されています。...