반도체 접착제용 적외선 경화
팹에서의 “접착제 경화” 과정은 단순한 열처리가 아닙니다. 이는 수율에 직접적인 영향을 미치는 중요한 요소입니다. 포토레지스트의 소프트 베이크나 하드 베이크에도 같은 원칙이 적용됩니다. 즉, 온도는 반드시 일정해야 합니다. 다이-어태치 접착제도 마찬가지로 일관된 온도...
팹 오븐용 석영 가열관
생산 라인에서 포토레지스트를 건조시키는 과정은 단순한 예열 과정이 아닙니다. 이는 중요한 공정 단계입니다. 온도를 1°C만 변경해도 CD의 위치가 변하거나, 측벽 각도에 변화가 생기며, 결함의 밀도도 증가합니다. 오븐 내부의 석영 히터는 일관된 열을 공급해야 하며,...
웨이퍼 레벨 패키징용 히터
FO-WLP 공정에서는 베이킹 단계에서 수율이 점차 감소합니다. 2°C만큼의 약한 열처리도 포토레지스트의 특성을 왜곡시킬 수 있습니다. 반면, 너무 강한 열처리를 하면 용접 부위에 공극이 생기거나 웨이퍼가 비틀리는 문제가 발생합니다. 시간이 지날수록 웨이퍼 전체의 온...
에너지 효율이 높은 히터
해가 지기 시작하더라도, 테라스를 그냥 닫을 필요는 없습니다. 스위치를 누르기만 하면 곧바로 따뜻한 열기가 나와서 저녁 시간을 조금 더 길게 만들어줍니다. 이것이 바로 적외선 히터와 스마트 홈 시스템을 함께 사용했을 때 얻을 수 있는 장점입니다.
실제로 어떻게 작동하...
아트리움용 히터
겨울이 되면 다락방은 바람이 잘 드는, 버려진 공간이 되어버립니다. 이럴 때 일반적인 히터는 효과가 느리고 에너지 낭비가 심할 수 있습니다. 집 전체를 따뜻하게 할 필요 없이, 빠르게 따뜻함을 제공해주는 히터가 필요합니다. 바로 이런 점에서 적외선 다락방 히터가 유용...
포토레지스트 소프트 베이크 온도 IR
리소그래피 공정에서는, 포토레지스트의 소프트 베이킹 과정에서 생기는 0.5도 정도의 오차도 결코 무시할 수 없습니다. 이러한 오차는 선의 굵기 변화, 용매의 잔류, 그리고 수율 저하로 나타나며, 어떤 감사 절차로도 그 원인을 설명할 수 없습니다. 우리는 이러한 불확실...
할로겐형 파티오 히터
샤워를 마치고 바로 차갑고 습한 욕실로 나가는 것은 불편할 뿐만 아니라, 그 습기가 벽이나 타일 사이에 스며들어 곰팡이가 생기기 쉬운 환경을 만듭니다. 공기를 가열하는 히터는 방을 따뜻하게 해주긴 하지만, 사용 후 남아 있는 습기는 제거해주지 못합니다. 이때 할로겐...
USB 전원 히터
따뜻한 샤워를 마치고 바로 차가운 공기에 노출되는 것은 불편할 뿐만 아니라 스트레스도 증가시킵니다. 게다가 좁은 욕실에서는 습기와 전기와 관련된 안전 문제도 발생할 수 있습니다. 이러한 문제들을 해결하기 위해, 밀폐된 석영 적외선 소자를 활용한 USB 전원식 히터가...
태양전지 웨이퍼 건조 램프
젖은 상태의 웨이퍼가 건조 장치에서 나오는 모습을 보세요. 만약 건조 램프의 성능이 부족하다면, 웨이퍼에 수분이 남아 있게 되고, 그로 인해 포토레지스트가 벗겨지기 시작합니다. 이로 인해 생산량이 줄어듭니다. 우리는 이러한 문제를 방지하기 위해 태양전지용 웨이퍼 건조...
전기 파이프 히터
밤이 되면, 소음을 내거나 공기를 건조하게 만들거나 산소 농도에 대한 우려를 불러일으키는 히터는 적합하지 않습니다. 특히 아기가 있는 집에서는 조용하고 부드러우며 안전한 난방 시스템이 필요합니다. 바로 이런 점에서 적외선 전기 히터가 유용해집니다.
실제로 중요한 것은...
조용한 방용 히터
밤이 되어 집안이 조용해지면, 딸깍거리거나 윙윙거리는 소리를 내는 히터는 방해가 될 수 있습니다. 특히, 안정적이고 부드러운 온기가 필요한 노인들에게는 그렇습니다. 조용한 적외선 히터는 공기를 움직이지 않고 복사열을 제공함으로써 방의 분위기를 바꿔줍니다. 노인들에게는...
와이퍼 백 그라인딩 서포트 히터
300mm 웨이퍼 처리 과정에서는 웨이퍼를 얇게 만드는 데 힘을 사용하는 것보다는 열 관리가 더 중요합니다. 만약 지원용 히터의 온도가 변하면, 척이 과열되고 접착제가 약해져서 웨이퍼가 휘어지기 시작합니다. 즉시 치명적인 고장이 발생하는 것은 아니며, 나중에 웨이퍼의...
맞춤형 로고가 적용된 전기 히터
날씨가 변해 야외 공간에 온기가 필요해질 때, 오랜 대기 시간을 기다리거나 일반적인 제품으로 만족할 수는 없습니다. 저희는 편안함을 소홀히 하지 않으면서도, 아이디어부터 완제품까지 빠르게 만들어낼 수 있는 맞춤형 전기 히터를 개발했습니다. 디자인 승인부터 대량 생산까...
램 리서치 히터 교체
제조 공장에서 히터의 온도 변동은 단순한 유지보수 문제가 아닙니다. 이는 소프트 베이크, 하드 베이크, 웨이퍼 건조 공정 전반에 영향을 미치는 심각한 문제입니다. 포토레지스트의 온도 프로파일을 안정적으로 유지하고 건조 과정에서 결함이 발생하지 않도록 하려면 매우 엄격...
TEL (Tokyo Electron) 히터 램프
리소그래피 공정에서는, 포토레지스트를 가열할 때 0.5°C만큼의 온도 변동이 있어도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. TEL 히터 램프는 온도가 단순히 화면에 표시되는 수치에 불과한 것이 아니라, 패턴의 열적 상태를 결정하는 중요한 요소라는 점을 고려하여 설계됩니...