Hoe je een Class 100-reinroom echt schoon houdt
Wanneer je wafers verwarmt in een Class 100-omgeving, is er geen ruimte voor fouten. Eén klein stofdeeltje of een beetje uitstoot kan al voldoende zijn om de hele partij te verpesten. De meeste standaardverwarmingselementen zijn niet geschikt voor dit doel – ze zorgen er juist voor dat er microscopische deeltjes vrijkomen op het moment dat deze juist stabiel moeten blijven.
Daarom gebruiken we voor onze infraroodlampen hoogzuiver synthetisch kwarts. Hierdoor hoef je je geen zorgen te maken over dit soort problemen.
Waarom kwarts belangrijk is
We gebruiken gesmolten silica met bijna geen onzuiverheden. Waarom? Omdat goedkope materialen bij hoge temperaturen gaan reageren met de lucht. Deze kwartskernen fungeren als een goede afsluiting, zodat de halogencirkel binnenblijft. Hierdoor krijg je een constante lichtbron die de luchtkwaliteit niet beïnvloedt. Simpel gezegd.
Het juiste niveau van warmte bereiken
Deze lampen maken gebruik van kortegolfradiatie. In plaats van tijd te verspillen aan het opwarmen van de lucht rondom de wafer, wordt de energie rechtstreeks op het oppervlak van de wafer gericht. Dit gaat erg snel. Je kunt zo bijna onmiddellijk het gewenste temperatuurniveau bereiken. Let wel: de kracht van het licht is intens. Zorg ervoor dat je koelingssystemen sterk genoeg zijn, anders riskeer je oververhitting van de lampen tijdens langdurig gebruik.
Instellen van de lampen
We hebben de aansluitingen standaard gehouden, zodat de lampen gemakkelijk in je bestaande systeem kunnen worden geplaatst. We polijsten ook het kwarts tot een spiegelglad oppervlak. Dit is niet alleen voor het uiterlijk – het voorkomt ook dat er deeltjes op het oppervlak blijven zitten. Combineer deze lampen met een goede PID-regelaar, en je krijgt een perfecte, gelijkmatige verdeling van de warmte over het hele oppervlak van de wafer.
Een waarschuwing
Het nadeel van hoogzuiver kwarts is dat het broos is. Het kan beter tegen hitte schokken dan gewoon glas, maar het kan toch breken. Eén verkeerde beweging tijdens het installeren kan al voldoende zijn om het kwarts te beschadigen.
Draag ook altijd handschoenen. De oliën van je huid kunnen warmtepunten op het glas veroorzaken, waardoor de lamp eerder kapotgaat dan nodig is.