Temperatuursensor voor wafergereedschap
Zorgen dat je wafer-tools niet exploderen Laten we eerlijk zijn: in deze branche is één klein foutje al voldoende om een hele lading silicium te...
Temperatuur voor zachte verhitting van photoresist IR
Op de lithografieafdeling is een afwijking van een halve graden tijdens het ‘soft bake’-proces van de fotoresist geen onbelangrijk detail. Deze...