ในกระบวนการ FO-WLP ขั้นตอนการอบคือช่วงเวลาที่ประสิทธิภาพในการผลิตลดลงอย่างเงียบๆ หากอบด้วยอุณหภูมิที่ต่ำกว่า 2°C ก็จะส่งผลให้โครงสร้างของฟอโตรีซิสเตอร์เปลี่ยนไป แต่ถ้าอบด้วยอุณหภูมิสูงเกินไป ก็จะทำให้เกิดช่องว่างหรือความเบี่ยงเบนของ wafer ดังนั้นจึงจำเป็นต้องควบคุมอุณหภูมิให้สม่ำเสมอทั่วทั้ง wafer ในขณะที่เวลายังคงเดินหน้าต่อไป
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค เราได้สร้างเครื่องทำความร้อนระดับ wafer เพื่อใช้กับเตาอบและแผ่นร้อนที่อยู่ระหว่างขั้นตอนการพิมพ์ลายบน wafer และขั้นตอนการหล่อวงแหวน แหล่งกำเนิดความร้อนแบบฮาโลเจนช่วยให้เกิดการตอบสนองที่รวดเร็ว และเราสามารถควบคุมอุณหภูมิให้สม่ำเสมอในระดับ ±0.1°C ทั่วทั้งพื้นที่ที่ใช้งาน ตัวเครื่องทำความร้อนทำจากควอตซ์และเซรามิกคุณภาพสูง ดังนั้นจึงไม่มีฝุ่นหรือสิ่งสกปรกเกิดขึ้นในห้องปลอดฝุ่นระดับ Class 1–100
ความสามารถในการควบคุมอุณหภูมิอยู่ที่ ±0.2°C ต่อการอบแต่ละครั้ง ดังนั้นโปรไฟล์การอบจึงอยู่ในเกณฑ์ที่กำหนดไว้ การควบคุมอุณหภูมิทำโดยใช้ระบบ PID พร้อมรองรับมาตรฐาน SECS/GEM ดังนั้นจึงสามารถควบคุมค่าต่างๆ เช่น อัตราการเพิ่มอุณหภูมิ และเวลาการอบได้อย่างแม่นยำ
เหตุใดวิธีนี้จึงได้ผลดีใน FO-WLP ในกระบวนการ FO-WLP จะมีการนำ die ที่มีคุณสมบัติแตกต่างกันมาวางไว้ร่วมกัน แล้วจึงจัดสรรตำแหน่ง I/O ใหม่ ดังนั้นจึงจำเป็นต้องควบคุมอุณหภูมิให้เหมาะสม เพื่อไม่ให้เกิดการเคลื่อนที่ของทองแดงหรือความเครียดจาก CTE เครื่องทำความร้อนนี้ช่วยควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ ทำให้สามารถควบคุมขนาดของวัสดุได้ดีขึ้น และลดความเสี่ยงจากการเกิดสิ่งสกปรกได้
ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิช่วยลดจำนวนวัสดุที่ไม่เป็นไปตามมาตรฐาน และช่วยลดเวลาในการทดสอบได้ นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะเครื่องทำความร้อนจะทำงานเมื่อมีความจำเป็นเท่านั้น ดังนั้นจึงสามารถใช้งานได้ตลอด 24/7 โดยไม่มีปัญหาเรื่องเวลาหยุดทำงานที่ไม่ได้วางแผนไว้
ข้อควรระวังเล็กน้อย เครื่องทำความร้อนนี้สามารถใช้กับแผ่นร้อนในกระบวนการ FO-WLP ได้เกือบทั้งหมด แต่การติดตั้งขึ้นอยู่กับโครงสร้างทางกล ระบบการจับ Wafer ด้วยแรงดูด และระบบการระบายอากาศ จำเป็นต้องตรวจสอบให้แน่ใจว่าแรงดันไฟฟ้าและประเภทของตัวเชื่อมต่อเหมาะสมกับเครื่องมือของคุณ หลังจากเปลี่ยนหลอดไฟ จะมีช่วงเวลาสั้นๆ สำหรับการปรับอุณหภูมิให้เข้าสู่สภาวะปกติ ควรจัดเวลานี้ไว้ในช่วงการบำรุงรักษา เพื่อให้โปรไฟล์การอบยังคงอยู่ในเกณฑ์ที่กำหนดไว้