Trong quy trình sản xuất, sự biến đổi nhiệt độ không chỉ là vấn đề liên quan đến việc bảo trì thiết bị mà còn ảnh hưởng trực tiếp đến các bước xử lý như nung chảy wafer, sấy khô wafer… Để đảm bảo chất lượng cao trong quy trình sản xuất, cần có sự ổn định về nhiệt độ trong phạm vi hẹp. Khi thiết bị ban đầu bị lão hóa, phạm vi nhiệt độ này sẽ thu hẹp lại, và điều đó ảnh hưởng đến chất lượng sản phẩm.
Điều quan trọng là phải tạo ra bộ thay thế có khả năng tương thích với các giao diện nhiệt và cơ học của thiết bị Lam Research, đồng thời đảm bảo độ đồng đều về nhiệt độ ở mức ±0,1°C. Bộ thay thế này cũng cần tương thích với môi trường vô trùng từ loại 1 đến loại 100. Các thông số liên quan đến sóng hồng ngoại ngắn hoặc trung bình cũng cần được điều chỉnh sao cho phù hợp với nhu cầu nhiệt của vật liệu phủ trên wafer. Việc sử dụng các linh kiện bằng thạch anh và gốm sứ với các mối nối kín giúp tránh sự hình thành các hạt bụi. Điện năng và điện áp sử dụng cũng cần phù hợp với yêu cầu của thiết bị ban đầu; loại kết nối, độ chính xác trong lắp đặt và khả năng phản ứng nhiệt cũng cần được điều chỉnh sao cho tương thích với thiết bị ban đầu.
Lý do tại sao bộ thay thế này hiệu quả trong thực tế: Nó giúp duy trì cùng một chu kỳ thời gian xử lý, cùng một chế độ nung chảy, và cùng mức độ chính xác trong quy trình in ấn. Không cần phải tái kiểm tra toàn bộ hệ thống. Mức tiêu thụ năng lượng cũng ở mức tương tự như thiết bị ban đầu. Khả năng hoạt động 24/7 được đảm bảo nhờ vào khả năng kiểm soát nhiệt độ ổn định. Kết quả là ít sự cố xảy ra và chất lượng sản phẩm được kiểm soát tốt.
Một vài điều cần lưu ý khi lắp đặt: Cần đảm bảo rằng kết nối giữa bộ thay thế và thiết bị ban đầu được tương thích, đồng thời kiểm tra vị trí của các cảm biến nhiệt. Nếu vị trí của chúng không chính xác, thì các thông số nhiệt độ sẽ bị biến đổi. Nên tiến hành kiểm tra ngắn sau khi thay thế, đồng thời kiểm tra số lượng hạt bụi trong không khí. Chúng tôi cung cấp bộ thay thế đã được kiểm tra kỹ lưỡng, vì vậy bạn có thể thay thế nó mà không cần thiết kế lại quy trình hay công cụ sản xuất.