Hãy ngừng lãng phí thời gian với phương pháp sấy bằng không khí nóng đi: Tại sao công nghệ tia hồng ngoại lại là giải pháp tốt nhất để làm khô các wafer trong quy trình chế tạo bán dẫn?
Hãy nói về vấn đề thời gian. Trong quy trình chế tạo bán dẫn, mỗi giây lãng phí đều có nghĩa là tiền bạc bị lãng phí.
Trong thời gian dài, chúng ta vẫn sử dụng phương pháp sấy bằng không khí nóng. Nhưng vấn đề là phương pháp này rất chậm. Nó dựa vào hiện tượng đối lưu, tức là bạn phải mất rất nhiều thời gian để làm nóng toàn bộ không khí trong buồng sấy, chỉ để làm khô một chiếc wafer thôi. Thực chất, bạn đang làm nóng cả căn phòng, trong khi điều bạn quan tâm chỉ là phần wafer mà thôi.
Đó chính là lý do tại sao chúng ta sử dụng đèn tia hồng ngoại. Thay vì làm nóng không khí, đèn tia hồng ngoại phát ra năng lượng trực tiếp vào bề mặt wafer. Năng lượng này giúp làm bay hơi hết độ ẩm trên bề mặt wafer ngay lập tức. Thời gian sấy giảm từ vài phút xuống còn vài giây thôi. Đó là sự khác biệt lớn.
Có lẽ bạn sẽ nghĩ: “Chờ đã, đây là giai đoạn rửa wafer. Bên trong vẫn còn ướt mà.” Đúng vậy. Một chiếc đèn thông thường có lẽ sẽ bị hỏng ngay khi có giọt nước rơi vào nó. Đó là lý do tại sao chúng ta sử dụng những chiếc đèn có lớp bảo vệ đặc biệt. Chúng được thiết kế để chịu được áp lực cao. Ngay cả khi có giọt nước bay qua, chúng vẫn hoạt động bình thường mà không bị hỏng.
Tất nhiên, đó không phải là giải pháp hoàn hảo. Có một vài điều cần lưu ý. Vì nhiệt từ tia hồng ngoại lan tỏa rất nhanh, nên rất dễ vượt quá nhiệt độ mong muốn nếu bộ điều khiển PID không được thiết lập chính xác. Bạn cũng cần chú ý đến mức điện năng tiêu thụ. Việc thay thế động cơ quạt bằng bộ đèn tia hồng ngoại sẽ làm thay đổi mức tiêu thụ điện năng. Trước khi bật công tắc, hãy kiểm tra xem các bộ phận điện có thể chịu được dòng điện cao trong giai đoạn khởi động hay không.
Nhưng một khi mọi thứ đã được điều chỉnh ổn thỏa, hiệu suất sẽ rất tuyệt vời. Bằng cách loại bỏ giai đoạn “khởi động” khó chịu này, bạn có thể xử lý nhiều wafer hơn mỗi giờ. Đó là một giải pháp đơn giản nhưng mang lại hiệu quả lớn trong toàn bộ quy trình chế tạo bán dẫn.