Bộ gia nhiệt CVD (Lắng đọng hơi hóa học)

Trên sàn sản xuất, node 5nm không cho phép sai lệch nhiệt độ. Một điểm nóng trong buồng CVD sẽ dẫn đến độ dày không đồng đều, sai lệch thành phần hóa...