与真空环境兼容的红外加热器

为何真空红外加热是理想的解决方案 在真空中保持晶圆的清洁其实是一件很麻烦的事。哪怕有那么一点点污染，都会导致产量下降。正因如此，我们才逐渐放弃那些效率低下的传统电阻式加热炉，转而使用适合真空环境的红外加热器。 这是一种更高效的工作方式，同时还能减少大量能源的浪费，从而为地球环保做出贡献。 真空环境...