用于半导体加热器的热电偶

在红外半导体加热中实现精确的温度控制 如果我们真的想减少半导体工厂的能源消耗，那就必须放弃那些传统的电阻式加热器。因为它们耗能极高。采用红外加热灯才是明智之举，因为它们能直接对晶圆进行加热，而无需让整个房间都变热。 不过，这里有个问题：不能仅仅通过开关来控制温度，那样做只会带来麻烦。如果不仔细调整...