别再浪费能量了：为何镀金反射器更有效 在加热硅晶圆时，每一瓦特的能量都至关重要。但问题在于：普通的红外灯效率很低，它会把能量散射到各个方向。大量能量并没有用于加热晶圆，而是被用来加热机器的框架，这无疑是一种电能和时间的浪费。 我们通过在反射器上涂覆高纯度黄金来解决这个问题。这样一来，所有能量都会被...

别再浪费能源了：为何镀金红外发射器更高效 如果在加工半导体晶圆时浪费能源，那不仅仅是成本问题，更是设计上的缺陷。 想象一下普通红外发射器的工作原理：大部分热量都会向周围散逸，而不会作用于需要加热的区域。这就好比用一只光线有一半会从后方散射出来的手电筒来照明房间一样。 因此，我们才使用镀金反射器和陶...

在光刻工序中，光刻胶在软化处理过程中的半度偏差其实并非无关紧要的小问题。这种偏差会表现为线宽的变化、溶剂残留以及产量下降，而这些现象是任何检测都无法解释的。我们设计的红外软化处理装置就是为了消除这些不确定性，因为晶圆干燥和光刻胶处理都需要精确的控制，而不是凭经验行事。 关键在于精准控制 我们让短波...