别再浪费能量了：为何镀金反射器更有效
在加热硅晶圆时，每一瓦特的能量都至关重要。但问题在于：普通的红外灯效率很低，它会把能量散射到各个方向。大量能量并没有用于加热晶圆，而是被用来加热机器的框架，这无疑是一种电能和时间的浪费。
我们通过在反射器上涂覆高纯度黄金来解决这个问题。这样一来，所有能量都会被引导到正确的位置——直接照射到晶圆上。
为什么选择黄金？
这与其说是材料的问题，不如说是与红外光谱的物理特性有关。虽然很多人因为铝材容易获取而选择使用铝制反射器，但随着温度升高，铝的反射效率会下降。而黄金则不会如此，它在更宽的红外波长范围内都能保持高效的反射性能。这样，我们就可以将辐射能量集中起来，让晶圆表面获得更强的热量。不过，这样做并不会增加从电源获取的能量，只是更高效地利用了能量而已。
平衡热量分布
我们的目标是让辐射能量得到有效利用。我们会调整黄金反射器的焦点，从而让能量均匀地照射到晶圆上。如果做不到这一点，就会出现局部过热的情况，而局部过热会破坏晶圆的结构或影响掺杂剂的活性。
不过需要注意：这种聚焦方式会产生强烈的局部热量。因此，必须确保冷却系统能够承受这些热量。如果晶圆反射出的热量或灯壳内的热量无法散发出去，那么灯丝就会更快烧坏。
实际应用
最棒的是，这类反射器可以直接替代现有的红外灯阵列。它们的尺寸设计得很合适，可以轻松安装到现有的真空室或常压环境中。一旦改为使用镀金反射器，你会发现达到目标温度所需的时间会大大缩短。此外，由于不需要过度驱动灯泡来弥补能量损失，电源的压力也会减轻。