高能效晶圆加热器

如何保持100级洁净室的清洁状态 在100级洁净环境中加热晶圆时，容错率几乎为零。哪怕有一点点碎屑或气体泄漏，整个批次的晶圆都会毁掉。大多数普通的加热元件根本无法满足这种要求——因为它们容易在需要稳定工作的时候释放出微小的颗粒物。 因此，我们选择使用高纯度的合成石英来制造红外灯。这样就能避免这类问...