如何保持100级洁净室的清洁状态
在100级洁净环境中加热晶圆时，容错率几乎为零。哪怕有一点点碎屑或气体泄漏，整个批次的晶圆都会毁掉。大多数普通的加热元件根本无法满足这种要求——因为它们容易在需要稳定工作的时候释放出微小的颗粒物。
因此，我们选择使用高纯度的合成石英来制造红外灯。这样就能避免这类问题。
为什么石英如此重要
我们使用的的是几乎不含杂质的熔融硅。为什么呢？因为在高温下，廉价材料会与空气发生反应。而石英容器则能起到密封作用，确保卤素循环始终在封闭空间内进行。这样一来，就能获得稳定的光源，同时不会影响空气质量。就这么简单。
正确控制温度
这些灯使用的是短波辐射。这样一来，能量可以直接作用于晶圆表面，而无需浪费时间去加热周围的空气。速度非常快。几乎可以立即达到所需的温度。不过需要注意的是，其功率密度很高，所以必须确保冷却系统能够正常工作，否则长时间使用时可能会导致灯具过热。
安装注意事项
我们采用了标准接口，因此这些灯具可以轻松地安装到现有的系统中。此外，我们还对石英表面进行了抛光处理。这不仅是为了美观，还能防止颗粒物附着在表面。再配上合适的PID控制器，就能让整个晶圆表面得到均匀的加热效果。
需要注意的要点
不过，高纯度石英比较脆弱。虽然它比普通玻璃更能承受温度变化，但仍然容易受损。如果安装时操作不当，石英容器就有可能破裂。另外，务必佩戴手套——皮肤上的油脂会在玻璃表面形成热点，从而导致灯具过早损坏。