标签为“UHP”的页面如下 超高纯度加热灯 别再损坏您的设备了:处理半成品热处理的更好方法 在半导体制造工厂中,始终存在一个难题:需要让晶圆或基材达到适当的温度,但同时又不能让机器内部过热。 普通的辐射式加热器效率不高,而且热量会四处散播。很快,机器的各个部件就会变得过热,从而带来安全隐患。这真是个麻烦的问题。 因此,我们使用超纯度定向加热... Read more...
超高纯度加热灯 别再损坏您的设备了:处理半成品热处理的更好方法 在半导体制造工厂中,始终存在一个难题:需要让晶圆或基材达到适当的温度,但同时又不能让机器内部过热。 普通的辐射式加热器效率不高,而且热量会四处散播。很快,机器的各个部件就会变得过热,从而带来安全隐患。这真是个麻烦的问题。 因此,我们使用超纯度定向加热... Read more...