Réduction de l’émission de carbone lors du séchage des wafer MEMS
Nous remplaçons progressivement ces anciens fours à convection par des lampes à chauffage infrarouge pour le séchage des wafer de capteurs MEMS. L’objectif est simple : éliminer plus rapidement l’eau présente sur les wafer et réduire la consommation d’énergie.
Si vous avez déjà travaillé dans une usine de fabrication, vous savez à quel point il faut d’énergie pour chauffer un grand volume d’air juste afin de sécher un petit morceau de silicium. C’est un gaspillage. Passer à des méthodes de production « vertes » signifie donc simplement mettre fin à ce gaspillage.
Comment fonctionnent les lampes à infrarouge ?
Pensez-y de cette façon : les fours traditionnels chauffent toute la pièce. Les lampes à infrarouge, quant à elles, ciblent directement le wafer. Nous utilisons des émetteurs à ondes courtes, car ils permettent de pénétrer directement dans la couche d’humidité. Cela provoque une évaporation presque instantanée. Le temps de séchage passe ainsi de minutes à secondes. De plus, les lampes ne consomment de l’énergie que lorsqu’elles fonctionnent. Ainsi, on n’a plus besoin de payer pour des chauffages qui restent inactifs toute la journée.
Les défis liés à cette technologie
Ce n’est pas si simple. Pour obtenir la densité de chaleur nécessaire pour le séchage des wafer MEMS, nous devons utiliser des lampes en quartz à haute puissance. Ces lampes doivent être résistantes, car elles passent constamment de températures très basses à des températures extrêmement élevées, sans se briser. Nous utilisons également des revêtements spéciaux pour que la chaleur atteigne uniquement le wafer, et non le châssis de l’appareil. On ne veut tout de même pas que l’équipement se détruise pendant le séchage.
Il y a aussi le problème des pics de courant : lorsque ces lampes s’allument, elles génèrent des pics de courant assez importants. Si votre tableau électrique n’est pas capable de gérer cela, vous risquez de voir vos disjoncteurs sauter tout au long de la journée.
Enfin, il y a le problème des zones de chaleur inégales. Si les lampes ne sont pas correctement positionnées, le séchage sera inégal. Nous avons résolu ce problème en ajustant la forme des réflecteurs, afin que la chaleur soit répartie uniformément sur la surface du wafer de 200 mm ou 300 mm.
Pourquoi c’est important pour la planète ?
Au final, il s’agit de réduire l’empreinte carbone. En diminuant l’énergie utilisée par wafer, nous parvenons à réduire significativement nos émissions. Nous n’avons plus besoin de systèmes de ventilation complexes pour évacuer l’air chaud inutilement. Moins d’énergie, moins de CO2. C’est une manière simple et efficace de rendre le processus de séchage des wafer MEMS beaucoup plus écologique.