캐비닛 벽을 가열하는 것을 그만두세요
대부분의 가열 요소들은 에너지를 사방으로 방출합니다. 반도체 제조 장비에서는 이것이 문제가 됩니다. 엄청난 양의 전력이 낭비되고, 장비 내부의 벽들이 거대한 열 싱크가 되어버립니다.
그러한 벽들이 너무 뜨거워지면 문제가 생깁니다. 섬세한 전자 부품들이 손상될 수 있으며, 최악의 경우 작업자가 화상을 입을 수도 있습니다.
우리는 방향성이 있는 적외선 램프를 사용하여 이 문제를 해결합니다.
열을 정확한 위치에 집중시키기
마치 손전등과 같다고 생각하면 됩니다. 전체 방을 밝히는 대신, 특정 지점에만 빛을 집중시킵니다.
특수한 석영 코팅과 반사체를 사용함으로써, 열 에너지를 공작물에 직접 전달할 수 있습니다. 이렇게 하면 전체 장비가 사우나처럼 뜨거워지는 현상을 막을 수 있습니다. 웨이퍼나 기판에 필요한 열 밀도를 얻으면서도, 장비의 본체는 시원하게 유지됩니다. 이것이 바로 더 스마트한 방법입니다.
왜 저가형 전선을 사용하지 않는가?
높은 와트수의 적외선 램프는 엄청나게 뜨거워집니다.
일반적인 PVC 전선을 사용하면, 뜨거운 부품에 닿거나 장비의 본체에 너무 가까이 위치하면 금방 녹거나 연기가 나기 시작합니다. 아무도 그런 상황을 원하지 않습니다.
그래서 우리는 테플론(PTFE) 코팅된 전선을 사용합니다. 이 전선은 열을 견딜 수 있으며, 화학적으로 복잡한 환경에서도 파손되지 않습니다. 게다가, 전선을 좁은 공간에 넣어도 뜨거운 표면에 닿아도 전선이 녹아내리지 않습니다. 저가형 절연체는 단락을 일으켜 많은 비용이 드는 다운타임을 초래합니다. 간단한 원칙입니다.
실제 사용 시의 타협점
완벽한 것은 없습니다. 방향성 가열은 열이 매우 집중되기 때문에, 가열되는 재료에 큰 부담을 줍니다.
PID 제어기를 조심스럽게 조절해야 합니다. 정확하지 않으면 온도가 과도해져 부품이 손상될 수 있습니다.
또한, 테플론은 비록 튼튼하지만 실리콘보다는 더 딱딱합니다. 따라서 급격한 각도로 구부리려고 하지 마세요. 프레임을 통과할 때는 더 넓은 각도로 구부려야 합니다. 그렇지 않으면 금속이 결국 피로해져 부서질 수 있습니다.