왜 진공 상태에서의 적외선 가열이 생산 공정에 적합한지
진공 상태에서 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 것은 매우 어려운 일입니다. 아주 작은 오염도라도 있으면 생산 효율이 급격히 떨어집니다. 그래서 우리는 구식의 저항식 난방 장치를 버리고, 진공 환경에 적합한 적외선 가열기를 사용하고 있습니다.
이 방식은 훨씬 더 효율적인 방법이며, 엄청난 양의 에너지 낭비를 줄여 지구에도 도움이 됩니다.
진공 상태에서의 가열 비결
진공 상태에서는 대류가 일어나지 않습니다. 따라서 복사열만이 유일한 가열 수단입니다.
전체 강철 챔버를 가열하려는 시도는 마치 한 잔의 커피를 데우기 위해 온 방을 따뜻하게 하는 것과 같습니다. 하지만 적외선 가열기는 고밀도 에너지를 직접 기판으로 전달합니다.
목표 지향적인 가열 이 방식을 사용하면 기계의 벽면에 에너지가 낭비되는 것을 막을 수 있습니다. 그 결과 전력 비용도 줄어들고, 웨이퍼도 필요한 만큼의 열을 받을 수 있습니다.
깨끗하게 유지하기 (그리고 시원하게 유지하기)
오염은 큰 문제입니다. 가스가 발생하지 않도록 하기 위해, 우리는 진공 환경에 적합한 고순도 석영 소재와 필라멘트를 사용합니다. 규격에 맞지 않는 재료를 사용하면 불순물이 생산 과정을 방해할 수 있습니다.
우리는 단파 적외선 발생기를 사용합니다. 이 물질은 물질을 빠르게 통과할 수 있습니다.
하지만 주의해야 할 점이 있습니다. 이 램프들은 단자 부분이 매우 뜨거워집니다. 만약 냉각 시스템이 충분하지 않다면, 부품들이 손상될 수 있습니다. 이건 좋지 않은 상황입니다.
탄소 배출을 줄이면서도 생산성을 높이기
가장 큰 장점은 속도입니다. 저항식 난방 장치는 반응 속도가 매우 느립니다. 가열하는 데 몇 시간이 걸리고, 식는 데도 몇 시간이 걸립니다. 반면 적외선 가열기는 몇 분 만에 작동합니다.
따라서 기계가 멍하니 있을 시간도 줄어듭니다. kWh당 비용도 크게 줄어듭니다. 이 방식은 생산 라인의 속도를 늦추지 않으면서도 클린룸을 더 친환경적으로 만드는 간단한 방법입니다.
만약 구식 난방 장치를 사용하고 있고 탄소 배출을 줄이는 방법을 고민하고 있다면, 이 적외선 가열기로 교체해보세요. 이건 매우 간단한 해결책입니다.