Sınıf 100 temiz oda koşullarını gerçekten temiz tutmak
Sınıf 100 ortamında wafleri ısıtırken hata payı neredeyse sıfırdır. En ufak bir kir parçası veya gaz salınımı bile tüm ürünlerin bozulmasına neden olabilir. Çoğu standart ısıtıcı eleman bu tür durumlar için uygun değildir; çünkü istikrarlı çalışmaları gereken anda mikroskobik parçacıklar üretirler.
İşte bu yüzden kızılötesi lambalarımız için yüksek saflıkta sentetik kuvars kullanıyoruz. Bu sayede endişelenmenize gerek kalmaz.
Kuvarsin önemi
Neredeyse hiç safsızlık içermeyen füzyonlu silika kullanıyoruz. Neden mi? Çünkü yüksek sıcaklıklarda ucuz malzemeler hava ile reaksiyona girer. Bu kuvars kaplamalar, halojen döngüsünü içinde tutarak hava kalitesini bozmaz. Böylece istikrarlı bir ışık kaynağı elde edilir.
Doğru ısıyı elde etmek
Bu lambalar kısa dalga radyasyonu kullanır. Waferin etrafındaki havayı ısıtmak için zaman kaybetmek yerine, enerji doğrudan yüzeye ulaşır. Oldukça hızlıdır. Sıcaklık hedeflerinize neredeyse anında ulaşabilirsiniz. Ancak dikkat: Güç yoğunluğu oldukça yüksektir. Soğutma sistemlerinizin yeterli olduğundan emin olun; aksi takdirde uzun süreli kullanımlarda lambaların aşırı ısınması riski vardır.
Kurulum
Bağlantı noktalarını standart tuttuk, böylece mevcut sistemlerinize sorunsuz bir şekilde entegre olurlar. Ayrıca kuvarsi ayna gibi parlak bir şekilde işliyoruz. Bu sadece görünüm açısından değil; aynı zamanda yüzeyde parçacıkların birikmesini de engeller. Bunları iyi bir PID kontrol cihazıyla birleştirirseniz, tüm wafer üzerinde mükemmel ve eşit bir ısı dağılımı elde edersiniz.
Bir uyarı
Yüksek saflıkta kuvars kırılgandır. Normal camlara kıyasla ısı şoklarına daha iyi dayanır, ancak herhangi bir darbeye dayanamaz. Kurulum sırasında yanlış bir hareket yapıldığında kaplama kırılabilir. Ayrıca her zaman eldiven giyin. Cildinizden gelen yağlar cam üzerinde sıcak noktalar oluşturur ve bu da lambanın beklenenden daha erken bozulmasına neden olur.