Einführung
Wir haben diese Infrarotheizlampen mit einem bestimmten Ziel im Kopf entwickelt – nämlich die Produktionsstätten. Denn bei einer Energieprüfung braucht man Wärme, die gezielt eingesetzt werden kann – und nicht einfach nur Wärme, die überallhin strahlt.
Traditionelle Konvektionsheizungen heizen die Luft auf – das bedeutet jedoch, dass Geld verschwendet wird. Unser anspruchsvolles Heizsystem bringt die Wärme genau dorthin, wo sie benötigt wird – also direkt auf das Zielobjekt. Dadurch entfällt das Problem, dass Halbleiterausrüstung von innen her zu heiß wird – ein Problem, das immer dadurch entsteht, dass die Wärme dort verbreitet wird, wo sie nicht hingehört.
Das Kernkonzept
Die Idee hinter diesen Lampen ist die gezielte Heizung. Eine Infrarotlampe strahlt keinen warmen Luftstrom aus, sondern einen fokussierten Lichtstrahl. Um das zu erreichen, werden diese Lampen mit 400 V betrieben. Diese hohe Spannung sorgt für eine hohe Leistungsdichte in einem kompakten Gehäuse. So erhält man viel Wärme, ohne eine riesige, energieintensive Anlage benötigen zu müssen.
Die Länge von 300 mm ist kein Zufall – sie ist so gewählt, dass die Lampe in die engen Bereiche der Waferverarbeitungsanlagen passt.
Ausstattung der Lampen
Im Inneren befindet sich eine mit Halogen gefüllte Quarzkapsel. Dadurch bleibt der Glühfaden sauber und stabil – somit hält die Lampe länger und arbeitet zuverlässig. Das Quarzglas kann außerdem schnelle Ein-/Ausschaltvorgänge bewältigen, ohne zu zerbrechen – etwas, was man häufig in automatisierten Produktionsanlagen beobachten kann.
Der R7s-Anschluss hat ebenfalls einen Grund: Er stellt eine sichere, hochtemperaturbeständige Verbindung zur Verfügung, die die elektrische Last zuverlässig überträgt. Zudem passt das gesamte Design perfekt in die jeweiligen Anwendungsbereiche – dadurch bleibt die Wartung einfach.
Effekte in der Produktion
Bei Trocknungsprozessen macht sich der Unterschied deutlich bemerkbar: Der fokussierte Infrarotstrahl trocknet die Substrate und härmt Beschichtungen aus, ohne dass die umliegenden Maschinen übermäßig erhitzt werden. Dadurch entsteht keine Gefahr durch überhöhte Temperaturen – das schützt empfindliche elektronische Komponenten und macht den Arbeitsplatz sicherer für die Mitarbeiter.
Aus energetischer Sicht ist das System einfach zu verstehen: Es werden nur die jeweiligen Zielbereiche erhitzt – nicht der gesamte Raum. Es gibt zwar einen Kompromiss: Aufgrund der hohen Leistungsdichte muss das Kühlsystem der Maschine gut ausgelegt sein, um die lokal entstehende Wärme zu bewältigen. Doch der Nutzen überwiegt – geringerer Energieverbrauch und ein sichererer Arbeitsplatz.