Beobachten Sie, wie eine Waferplatte aus der Feuchtigkeitsbehandlungslösung herauskommt. Wenn die Trockenlampe nicht effektiv arbeitet, bleibt Feuchtigkeit auf der Waferplatte zurück – dadurch beginnt das Photoresist-Material abzulösen. Dadurch sinkt die Ausschussrate. Wir haben unsere Trockenlampe für Solarzellen so konzipiert, dass dieses Problem vermieden wird.
Was im Inneren der Lampe wichtig ist: Die Lampe nutzt NIR-Strahler zur schnellen, gleichmäßigen Erwärmung der Waferplatte – ohne dass das Substrat dabei beschädigt wird. Die thermische Homogenität auf der Waferplatte bleibt bei ±0,1°C, sodass die Einstellungen für die Weich- und Harttrocknung konstant bleiben – Lot für Lot. Die Lampe funktioniert in Reinräumen der Klasse 1–100 ohne dass es zu Partikelausstoß kommt. Dadurch bleiben die Defektzahlen im gewünschten Bereich. Es wird eine zuverlässige Steuerung der Einstellungen gewährleistet, sowie eine hohe Betriebszeit – sogar über 5.000 Stunden hinweg.
In der Produktion ist die thermische Situation sehr anspruchsvoll. Diese Lampe trocknet die Waferplatten schnell, während dünnere Schichten und Passivierungsschichten erhalten bleiben. Der Vorteil sind kürzere Bearbeitungszeiten, geringerer Energieverbrauch und weniger Nacharbeiten. Bei der Verpackung reduziert dieselbe Präzision feuchtigkeitsbedingte Fehler und ermöglicht größere Flexibilität im Prozessablauf. Die Ausschussrate bleibt vorhersehbar – und der Prozess ändert sich nicht einfach nur wegen eines Wechsels der Mitarbeiter.
Ein paar praktische Hinweise: Die Lampe benötigt eine separate, saubere Stromversorgung sowie eine sorgfältige Wärmebehandlung am Gerät. Sie funktioniert am besten in kontrollierten Umgebungen – hohe Luftfeuchtigkeit über 70 % verlängert die Trocknungszeit. Überprüfen Sie daher vor dem Kauf den Anschlusstyp und die Spannung. Die Integration in Ihre vorhandenen Anlagen ist einfach – achten Sie jedoch darauf, den Anschlusstyp und die Spannung vor dem Kauf zu überprüfen.