دیگر انرژی خود را هدر ندهید: چرا رزولورهای پوشیده شده با طلا عملکرد بهتری دارند
هنگام گرم کردن ویفرهای سیلیکونی، هر وات انرژی اهمیت دارد. اما مشکل اینجاست که لامپهای معمولی مادون قرمز، انرژی را در همه جا پخش میکنند. به جای اینکه انرژی به سطح ویفر برسد، مقدار زیادی از آن صرف گرم کردن بدنه دستگاه میشود. این کار، هدر دادن انرژی و زمان است.
ما این مشکل را با استفاده از پوششهای طلا با خلوص بالا در رزولورها برطرف کردیم. این روش باعث میشود که تمام انرژی به دقت به همان جایی برسد که باید برسد، یعنی مستقیماً به سمت ویفر.
چرا طلا؟
دلیلش، فیزیک طیف مادون قرمز است. بسیاری از افراد از رزولورهای آلومینیومی استفاده میکنند، زیرا این رزولورها رایج هستند. اما آلومینیوم با افزایش دما، کارایی خود را از دست میدهد.
اما طلا چنین نیست؛ طلا در طیف وسیعتری از طولامواج مادون قرمز، همچنان بازتابپذیری بالایی دارد. این امر به ما امکان میدهد تا تابش را در یک پرتو منظم و متمرکز تولید کنیم. در نتیجه، تغذیه حرارتی بر روی سطح ویفر بسیار قویتر خواهد بود؛ اما در واقع انرژی بیشتری از لامپ استخراج نمیشود. این روش، روشی هوشمندانهتر است.
تعادل حرارتی
هدف اینجا، ایجاد تابش «مؤثر» است. ما نقطه کانونی رزولور طلا را تنظیم میکنیم تا انرژی به طور یکنواخت بر روی ویفر برسد.
اگر این کار به درستی انجام نشود، نقاط داغی ایجاد میشود؛ این نقاط داغ میتوانند ویفرها را تخریب کنند یا فرآیند فعالسازی مواد را مختل کنند.
اما باید مراقب بود؛ این روش باعث ایجاد گرمای شدید در نقاط خاصی میشود. باید مطمئن شوید که سیستم خنککننده شما قادر به مقابله با این گرما باشد. اگر گرمای بازتابی از ویفر یا گرمای ناشی از لامپ، جایی برای رفتن نداشته باشد، فیلامنتهای لامپ خیلی سریعتر از حد معمول خراب خواهند شد.
کاربرد عملی
بهترین نکته این است که این رزولورها میتوانند به عنوان جایگزین مناسبی برای رزولورهای معمولی مادون قرمز استفاده شوند. ما ابعاد این رزولورها را به گونهای در نظر گرفتیم که بتوانند بدون هیچ مشکلی در محیطهای واکوم یا فشاری مورد استفاده قرار بگیرند.
وقتی از رزولورهای طلا استفاده کنید، متوجه خواهید شد که زمان رسیدن به دمای مورد نظر کاهش مییابد. همچنین، زمان چرخههای کاری کوتاهتر خواهد شد. علاوه بر این، منابع تغذیهای شما نیز میتوانند بهتر کار کنند؛ زیرا دیگر نیازی نیست لامپها را بیش از حد فعال کنید تا انرژی از دست رفته را جبران کنید.