برداشتن حداکثر استفاده از لامپهای خشککنی ویفرها
بیایید صادق باشیم: هدر رفتن انرژی در یک کارخانه هوشمند، در واقع به معنای هدر دادن پول است. وقتی که مشغول خشککردن ویفرها هستید، نمیخواهید که بدنه دستگاه مانند یک گرمکن عمل کند؛ بلکه میخواهید که انرژی حرارتی مستقیماً به سطح ویفر برسد.
به همین دلیل، منعکر در واقع مهمترین بخش از سیستم لامپ است.
دیگر انرژی را هدر ندهید!
اگر از لامپ خشککنی بدون منعکر دقیق استفاده کنید، بیش از ۵۰ درصد انرژی تولید شده هدر خواهد رفت؛ این کار بیهوده است.
ما این منعکرها را طوری طراحی کردهایم که تابش مادون قرمز را دوباره به سطح ویفر بفرستند. با تعیین دقیق نقطه کانونی، گرما به طور یکنواخت در سراسر سطح ویفر پخش میشود؛ در نتیجه، هیچ نقطه داغی وجود نخواهد داشت، و خشککردن ویفر نیز به درستی انجام خواهد شد.
مکانیزم و فناوری
بسته به طول موج مورد نظر، از آلومینیوم با خلوص بالا یا سطوح پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم. برای موجهای بلند مادون قرمز، استفاده از طلا مناسبتر است؛ اما برای موجهای کوتاه، آلومینیوم صیقلخورده معمولاً گزینه مناسبی است.
همچنین، اگر از سیستمهای صنعت ۴.۰ استفاده میکنید، این لامپها را میتوانید در قابهای ماژولار قرار دهید؛ این کار باعث میشود که جایگزینی آنها به راحتی انجام شود.
علاوه بر این، میتوانید این سیستمها را مستقیماً به PLC خود متصل کنید؛ در این صورت، میتوانید با استفاده از سنسورهای دیجیتال، میزان گرمایی که واقعاً به سطح ویفر میرسد را در زمان واقعی مشاهده کنید.
مشکلات و راهحلها
مشکل اینجاست که سطوح با بازتاب بالا، حساس هستند؛ کمی گرد و غبار یا بخارات شیمیایی در کارخانه میتواند باعث کاهش کارایی لامپ شود.
بنابراین، باید به طور دقیق از روشهای تمیزکاری استفاده کنید، یا از محفظههای دربسته برای حفظ تمیزی سطح لامپ استفاده کنید. اگر سطح لامپ کثیف شود، زمان لازم برای خشککردن ویفر افزایش خواهد یافت؛ چرا؟ چون لامپ باید با دمای بالاتری کار کند تا انرژی از دست رفته را جبران کند.
این امر باعث فشار زیادی بر منابع تأمین انرژی میشود و باعث خرابی سریعتر لامپها میگردد. پس، سطح لامپها را تمیز نگه دارید تا بتوانند به خوبی کار کنند.