دیگر اجازه ندهید انرژی خود را در کارخانههای تولید ویفرها هدر دهید!
بیایید صادق باشیم: هدر رفتن انرژی در کارخانههای تولید ویفرها، در واقع ناشی از نقصهای طراحی است.
وقتی که از لامپهای پرتوان برای گرم کردن ویفرها استفاده میکنیم، مقدار زیادی از انرژی مادون قرمز، به جای رسیدن به هدف، به سمتهای دیگر سرازیر میشود. ما این مشکل را با استفاده از سپرهای شیشهای پوشیده شده با طلا برطرف میکنیم.
میتوانید آنها را مانند آینههای با کیفیت بالا در نظر بگیرید؛ آنها نه تنها لامپ را پوشانده، بلکه تمام انرژی را مستقیماً به سمت ویفر هدایت میکنند.
چرا طلا؟
کوارتز استاندارد، اجازه میدهد که انرژی به سمتهای مختلف سرازیر شود؛ اما وقتی لایه نازکی از طلا روی آن اضافه میشود، قوانین تغییر میکند. طلا در بازتاب نور مادون قرمز بسیار مؤثر است.
نتیجه این است که گرمای بیشتری به ویفر منتقل میشود، بدون اینکه نیاز باشد توان لامپ افزایش یابد. این روش، روشی هوشمندانه برای استفاده از انرژی است.
حفظ تعادل حرارتی
کوارتز، گرمای ناشی از لامپ را مهار میکند؛ در حالی که طلا مطمئن میشود که گرما به سمت درست هدایت شود. ما این سپرها را طوری طراحی کردهایم که بتوانند در برابر تغییرات شدید دما مقاومت کنند؛ اما یک مشکل وجود دارد: باید سطح طلا کاملاً تمیز باقی بماند. اگر گرد و غبار یا اکسیداسیون روی سطح طلا ایجاد شود، «نقاط سرد» روی ویفر ایجاد خواهد شد. هیچ چیز بهتر از گرمای یکنواخت بر روی ویفر نیست.
معایب
ما این سپرها را به گونهای طراحی کردهایم که بتوانند جایگزین لامپهای موجود شوند؛ اما باید مراقب باشید که سطح طلا کاملاً تمیز باقی بماند. اگر این کار انجام نشود، لامپها دچار آسیب خواهند شد. اگر سطح طلا را تمیز نگه دارید، مشکلی پیش نخواهد آمد.