در کارخانههای تولید، فرآیند پختن فوتورزیست نوعی روش گرمکردن نیست؛ بلکه یک مرحله حیاتی در فرآیند تولید است. اگر دمای فرآیند پختن حتی ۱ درجه سانتیگراد تغییر کند، باعث تغییراتی در ابعاد قطعه، زاویه دیوارهها و افزایش تعداد نقصها خواهد شد. لولههای گرمایشی کوارتزی مورد استفاده، باید گرمای یکنواختی تأمین کنند؛ بدون ایجاد ذرات یا تغییرات در دما.
چه چیزهایی اهمیت دارد؟
ما این لولهها را برای تأمین گرمای مناسب برای ویفرهای نازک و حفظ پایداری لازم در فرآیند لیتوگرافی طراحی کردهایم. در سطح ناحیه فعال، یکنواختی دما در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد است؛ این امر باعث میشود دما در شرایط بارهای متغیر نیز ثابت بماند. امواج میانهای مادون قرمز، پاسخ سریعی ایجاد میکنند؛ بنابراین زمان لازم برای رسیدن به دمای مورد نظر کاهش مییابد و زمان چرخه کاری نیز ثابت میماند.
پوشش کوارتزی این لولهها، به دلیل کاهش گازهای تولید شده و سازگاری با محیطهای پاک، مناسب است؛ این پوشش امکان استفاده از این لولهها در محیطهای کلاس ۱ تا ۱۰۰ را فراهم میکند. تراکم انرژی نیز بر اساس مشخصات فیزیکی فر، تنظیم شده است؛ همچنین، نحوه اتصال و بستهبندی این لولهها نیز برای استفاده در سیستمهای با خلوص بالا در نظر گرفته شده است.
چرا این لولهها در فرآیند تولید مؤثر هستند؟
در فرآیند تولید، به گرمایی نیاز هست که بتوان در هر شیفت از آن استفاده کرد. این لولهها، پروفایل فوتورزیست را ثابت نگه میدارند، کارهای تکراری را کاهش میدهند و باعث افزایش بازدهی تولید میشوند. یکنواختی دمایی بالا، زمان لازم برای تنظیم دما را کاهش میدهد و کنترل دما نیز بهتر میشود.
مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا بازیابی گرما سریع انجام میشود و گرمای اضافی نیز کاهش مییابد. همچنین، مداخلات غیرمنتظره کمتری رخ میدهد؛ زیرا عمر این لولهها هزاران ساعت است و نیاز به تعویض آنها نیز قابل پیشبینی است.
چه چیزهایی باید مورد توجه قرار گیرد؟
میزان تحمل نصب این لولهها بسیار کم است؛ بنابراین، هماهنگی، فشار نصب و اتصالات باید مطابق با مشخصات فر باشد. در صورت عدم رعایت این موارد، نقاط گرم ایجاد شده و عمر لولهها کاهش مییابد.
قبل از تغییر کاربری فر، باید ولتاژ و اتصالات آن را بررسی کرد؛ همچنین، باید مطمئن شد که جریان هوا و سیستم محافظتی فر تغییری نکرده است؛ زیرا یکنواختی دما به کل سیستم بستگی دارد، نه فقط به لولهها.