دیگر وقت خود را با استفاده از هوای گرم تلف نکنید؛ چرا که استفاده از نور مادون قرمز راه درستی برای خشک کردن ویفرهای نیمههادی است.
بیایید درباره زمان صحبت کنیم. در فرآیندهای تولید نیمههادی، هر ثانیهای که صرف انتظار میشود، در واقع به معنای از دست رفتن پول است.
برای مدت طولانی، از جریان هوای گرم برای خشک کردن اشیاء استفاده شده است؛ اما مشکل اینجاست که جریان هوای گرم کند عمل میکند. این روش نیازمند گرم کردن مقدار زیادی هوا است تا ویفر خشک شود؛ در حالی که در واقع فقط بخش مورد نظر باید خشک شود.
در اینجاست که لامپهای مادون قرمز وارد عمل میشوند. به جای گرم کردن هوا، این لامپها انرژی تابشی را مستقیماً به سمت سطح ویفر ارسال میکنند؛ این انرژی باعث تبخیر رطوبت میشود. در واقع، زمان لازم برای خشک کردن ویفر از چند دقیقه به چند ثانیه کاهش مییابد. این تفاوت بسیار زیادی است.
شاید فکر کنید: «صبر کنید، اینجا هنوز خیس است.»
درست است؛ اما لامپهای معمولی احتمالاً در صورت برخورد قطرات آب، خراب خواهند شد. به همین دلیل از لامپهایی با سیستمهای مخصوص برای محافظت استفاده میشود. این لامپها قادرند در برابر شرایط سخت مقاومت کنند.
البته، همه چیز اینقدر ساده نیست؛ چند نکته وجود دارد که باید به آنها توجه کرد.
از آنجایی که گرمای مادون قرمز خیلی سریع اعمال میشود، اگر کنترلرهای PID به درستی تنظیم نشوند، ممکن است دمای مورد نظر فراتر رود. همچنین باید به میزان انرژی مصرفی نیز توجه کرد. جایگزینی موتورهای بادزن با لامپهای مادون قرمز، میزان بار الکتریکی را تغییر میدهد؛ پس قبل از روشن کردن دستگاه، حتماً بررسی کنید که پنلهای الکتریکی قادر به تحمل بار بیشینه در زمان راهاندازی دستگاه باشند.
اما وقتی که این مشکلات برطرف شد، بهرهوری دستگاه واقعاً شگفتانگیز خواهد بود.
با حذف این مرحله طولانی، میتوانید هر ساعت تعداد بسیار بیشتری ویفر را از طریق دستگاه بفرستید. این یک راهحل ساده است که مشکل بزرگی را در کل فرآیند برطرف میکند.