UHP 超高純度 ヒーターランプ

装置を焼き損ねないために：半導体製造装置での熱処理のより良い方法 半導体工場では、常に課題があります。ウェーハや基板上の部品を適切な温度に保つ必要がありますが、装置内部が偶然にでも過熱してしまうことは避けたいのです。 一般的な放射型ヒーターは、熱をあちこちに放出するため、かなり問題があります。気付...