もう、オーブンを待っている時間を無駄にしないでください。なぜ赤外線加熱が有効かというと、ほとんどの半導体製造工場では依然として熱風を使ってウェハの硬化や乾燥を行っています。私はこれをよく目にします。問題は簡単です。空気は熱を伝えるのが非常に悪いからです。結果として、チャンバーが十分に温まるのを待つ...

ウェーハ製造工程での無駄なエネルギー消費をやめよう 正直に言えば、ウェーハ製造工程でエネルギーが無駄になるのは、基本的には設計上の欠陥です。高功率のランプを使ってウェーハを加熱すると、その赤外線エネルギーの多くが無駄になってしまいます。つまり、本来必要な場所以外にもエネルギーが散逸してしまうのです...

ストップランプの故障が生産効率を損なうのを防ごう 半導体製造工場において、ランプが故障するというのは単なる迷惑事ではありません。それはまさに悪夢です。 重負荷の下で石英管が壊れると、単に電球が使えなくなるだけではありません。ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハに直接降り注ぎます。これは...

高純度クォーツを使用した赤外線ランプが、どのようにしてクリーンルームを真に清潔に保つのか 私たちは、妥協を許さない場所、つまりクラス100のクリーンルーム用に、このカーボンファイバー製の赤外線ランプを開発しました。もし、製造プロセスでガスの放出や粒子の飛散、表面にフィルムが付着することを一切許容で...

はじめに 私たちがこの赤外線ヒーターを開発したのは、工場内での使用を念頭に置いています。なぜなら、エネルギー消費量をチェックする際には、無駄に空間全体に熱が広がるのではなく、目的の場所だけに熱を届けることが重要だからです。 従来の対流式加熱では、空気全体が温められてしまい、結果としてコストが無駄に...

高価な半導体スペア部品のコストを削減する方法 私たちは理解しています。輸入される半導体スペア部品の高額なコストに頭を悩ませているのですよね。 現場での本当の問題は、国産の赤外線ヒーターが、プロセス全体を乱すことなく、直接置き換えて機能するかどうかです。 答えは「はい」です。物理的な条件や適合性さえ...

製造現場において、フォトレジストのベイク処理は単なるウォームアップではありません。それは工程上の重要なステップです。 ソフトベイクやハードベイクの温度を1℃でも変えると、CDのずれやサイドウォール角度の変化、欠陥密度の増加が起こります。オーブン内の石英ヒーターチューブは、再現性の高い加熱を実現しな...

ファブフロアにおいて、フォトレジストのベークは任意ではなく、厳格な制約条件である。ソフトベークまたはハードベークの温度が2℃ずれるだけで、クリティカルディメンション制御が乱れ、歩留まりに悪影響を及ぼす。ヒーター筐体は、粒子リスクを増やすことなく、熱慣性を引きずることもなく、現場での熱制御意図を実際...