はじめに
私たちがこの赤外線ヒーターを開発したのは、工場内での使用を念頭に置いています。なぜなら、エネルギー消費量をチェックする際には、無駄に空間全体に熱が広がるのではなく、目的の場所だけに熱を届けることが重要だからです。
従来の対流式加熱では、空気全体が温められてしまい、結果としてコストが無駄になります。一方、私たちの方式では、熱を正確に目的の場所に送り込むことができます。これにより、半導体装置の内部が過度に熱くなる問題を解決できます。この問題は、熱が本来あってはならない場所に広がることで起こります。
コア技術
ここがこの製品の核心的なアイデアです——つまり、指向性のある加熱です。赤外線ランプは、単に部屋中に暖かい空気を放出するだけではありません。むしろ、集中した光束を送り込みます。
これを実現するために、このランプは400Vで動作します。この高電圧により、コンパクトなサイズで高い出力密度が得られます。つまり、巨大で電力消費の多い装置を使わずとも、十分な熱が得られるのです。
また、300mmという長さも偶然ではありません。ウェーハ処理装置の狭いスペースに収まるように設計されています。
構造について
内部にはハロゲンガスが封入された石英製のカバーがあります。この化学的構造により、フィラメントが清潔で安定した状態を保ち、その結果、ランプの寿命が延び、性能も安定します。
石英ガラスは、急速なオン/オフの繰り返しにも耐えられます。これは、自動化された工場でよく見られる問題です。
R7sベースも意図的に設計されています。これにより、信頼性の高い高温接続が実現され、電力を確実に供給できます。そして、このデザインにより、メンテナンスも簡単に行えます。
工場での効果
乾燥処理においては、その効果は明らかです。集中した赤外線光束により、基板が乾燥し、コーティングも適切に硬化します。その結果、周囲の機器が過度に熱くなることはありません。
これにより、機器のケースが危険な高温になることが防がれ、敏感な電子機器が保護され、作業者の安全も確保されます。
エネルギーの観点から見ると、目的の場所だけを加熱するため、エネルギー消費が少なくて済みます。
ただ一つの欠点があります。出力密度が高いため、機械の冷却システムを適切に設計する必要があります。しかし、その分、エネルギー消費が削減され、作業環境も安全になります。