クリーンルーム用赤外線ヒーター

なぜスマートファブには赤外線ヒーターが必要なのか？ スマートファブを構築する際、従来の対流式加熱ではもはや不十分だと気づくでしょう。速度が遅すぎます。さらに、クリーンルーム内で空気を動かすと、ウェーハ上に粒子が飛び散ってしまいます。 そのため、私たちは短波長の赤外線を使用します。空気を温めるのでは...