省エネ型ウェーハヒーター

クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つ方法 クラス100の環境でウェーハを加熱する際には、ミスの余地は一切ありません。ほんのわずかな汚れやガスの発生だけで、作業しているウェーハ全体がダメになってしまいます。一般的な加熱素子では、安定した状態を維持するのが難しく、微細な粒子が発生してしま...