クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つ方法
クラス100の環境でウェーハを加熱する際には、ミスの余地は一切ありません。ほんのわずかな汚れやガスの発生だけで、作業しているウェーハ全体がダメになってしまいます。一般的な加熱素子では、安定した状態を維持するのが難しく、微細な粒子が発生してしまいます。
そのため、私たちは赤外線ランプに高純度の合成石英を使用しています。これにより、そのような心配がなくなります。
石英が重要な理由
私たちは、不純物がほとんど含まれていない溶融シリカを使用しています。なぜでしょうか？高温になると、安価な素材は空気と反応し始めます。この石英製のケースは、ハロゲンを閉じ込めておく役割を果たし、空気の質を乱すことがありません。とてもシンプルです。
適切な温度を実現する
これらのランプは短波放射を利用しています。ウェーハ周辺の空気を温めるのに時間を無駄にする代わりに、エネルギーが直接ウェーハの表面に当たります。とても高速です。ほぼ即座に目標の温度に到達します。ただし、出力密度が高いため、冷却装置が十分に機能するか確認する必要があります。そうでなければ、長時間の使用中にランプが過熱する危険があります。
設置方法
コネクタは標準的なものを使用しているので、既存の設備に簡単に取り付けられます。また、石英を鏡面状に研磨しています。これは見た目のためだけではなく、表面に粒子が付着するのを防ぐためでもあります。適切なPIDコントローラーを組み合わせれば、ウェーハ全体に均一な温度が得られます。
注意点
ただし、高純度の石英はもろいという欠点があります。通常のガラスよりは熱ショックに強いですが、衝撃には耐えられません。設置時に少しでも間違えると、ケースが割れてしまいます。また、必ず手袋を着用してください。皮膚から出る油分がガラス上で熱点を作り、ランプが早く壊れる原因になります。