クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つ方法 クラス100の環境でウェーハを加熱する際には、ミスの余地は一切ありません。ほんのわずかな汚れやガスの発生だけで、作業しているウェーハ全体がダメになってしまいます。一般的な加熱素子では、安定した状態を維持するのが難しく、微細な粒子が発生してしま...

MEMSウェーハの乾燥における炭素排出量の削減 私たちは、MEMSセンサー用ウェーハを乾燥させる際に、古くて非効率的な対流式オーブンの代わりに赤外線加熱ランプを使用しています。目的は単純です――ウェーハ上の水分をより迅速に除去し、無駄な電力消費を防ぐのです。 もしファブで働いたことがあるなら、ご存...

適切な距離の設定：赤外線ウェーハ加熱 半導体製造においては、正確な温度管理を実現するために短波長の赤外線ランプが使用されます。これは、エネルギーを無駄に消費する対流式オーブンよりもずっと優れています。しかし、より環境に優しい工場を実現し、二酸化炭素排出量を削減したい場合は、ランプとウェーハの間の「...

無駄なエネルギーの消費をやめよう：なぜ金コーティングされた反射板が優れているのか シリコンウェーハを加熱する際には、1ワットというエネルギーも無駄にしてはいけません。しかし問題は、一般的なIRランプではエネルギーがあちこちに散らばってしまうことです。その結果、基板に届くエネルギーよりも、むしろ装置...

ウェーハの硬化処理を最大限に活用するために 正直に言って、スマートなファブでエネルギーが無駄になるというのは、単純にお金の無駄に過ぎません。ウェーハを硬化処理する際には、機械の筐体が巨大なヒーターのように機能してしまってはいけません。熱エネルギーは必ず基板に届く必要があります。 だからこそ、反射器...

ウェーハが乾燥ステーションから出てくる様子を見てみましょう。もし乾燥ランプの性能が低下していると、水分が残ったままになり、その結果フォトレジストが剥がれ始めます。そうなると、バッチごとの歩留まりが悪化します。私たちが設計した太陽電池用ウェーハ乾燥ランプは、このような問題を防ぐために作られています。...

Role バックエンドラインにおいて、無鉛はんだリフローは再現可能な熱プロファイルに左右される。ウェーハレベルの精度は必須であり、数度のズレがバンプ高さの変動、位置ずれ、歩留まりの規格外を引き起こす。これを踏まえ、当社は無鉛はんだ用ウェーハプリヒーターを設計した。 What matters...