ウェーハ加工用の工具が破損するのを防ぐために
正直に言うと、この業界では、わずかなアーク発生だけで、大量のシリコン製品が廃棄されてしまいます。それは誰もが避けたい悪夢です。そのため、私たちは「ランダムサンプリング」を行いません。10個に1個だけ検査して、運が良ければ大丈夫というわけにはいきません。
私たちの工場から出荷されるすべての部品は、100％のヒッポテストおよび絶縁抵抗テストを受けます。例外はありません。
「ストレステスト」の仕組み
私たちが行う方法は、これらの部品に通常の動作電圧をはるかに超える電圧をかけることです。なぜでしょうか？それは、弱点を見つけ出すためです。
セラミックに微細な気泡があったり、コーティングに見えないほどのひび割れがあったりしても、ヒッポテストによってそれが検出されます。漏れ電流が急激に上昇した場合、その部品は使用不能です。これが、部品が実際に使用される際に絶縁性能が保たれるかどうかを確認する唯一の方法です。
なぜ手を抜かないのか
高真空や高温環境では、状況が変わってきます。汚染物質が移動したり、作業台上では問題なく見える部品でも、500℃になると突然問題を引き起こすことがあります。
だからこそ、私たちは絶縁抵抗に徹底的にこだわります。もし材料が劣化していたり、抵抗値が規格以下になっていたら、その部品は廃棄されます。それが最善の方法です。そうしないと、運用中にPLCや電源装置が壊れてしまう可能性があります。
バランスの取り方
もちろん、ここにはトレードオフがあります。厳格なテストによって不良品を見つけ出せますが、既に絶縁性能が不安定な部品に高電圧を繰り返しかけると、絶縁層がさらに劣化してしまいます。これは綱渡りのようなものです。私たちは、欠陥を排除するのに十分な高さの電圧を設定しますが、部品の寿命を縮めない程度に抑えます。
結局のところ、フューズが切れたり、チャンバーの壁にアークが発生したりしない部品が手に入ります。
お願いです、取り付けるときは接地端子をしっかり固定してください。どんなに優れた絶縁材でも、センサーの読み取り値に影響を与えるグラウンドループからは守ってくれません。