爆発性化学物質が存在する清掃環境における赤外線加熱ランプの安全性確保
ウェーハ加工用のツールが爆発しないようにする方法 正直言って、赤外線加熱ランプと可燃性の洗浄剤を一緒に使うのは、災害を招く行為です。これらの化学物質を扱ったことがある人なら、どれほど危険かわかるでしょう。ちょっとした火花や過熱した表面だけで、製品が台無しになるだけでなく、爆発の危険もあります。 だ...
ウェーハ処理装置用温度センサー
ウェーハ加工用の工具が破損するのを防ぐために
正直に言うと、この業界では、わずかなアーク発生だけで、大量のシリコン製品が廃棄されてしまいます。それは誰もが避けたい悪夢です。そのため、私たちは「ランダムサンプリング」を行いません。10個に1個だけ検査して、運が良ければ大丈夫というわけにはいきません。...